對石英晶體片、硅、鍺片、玻璃、陶瓷片、活塞環(huán)、閥板、閥片、軸承、鉬片、藍寶石、進行平面拋光。

單面拋光主要是高精度平面拋光，主要指石英晶體片、硅、鍺片、玻璃、陶瓷片、活塞環(huán)、閥板、閥片、軸承、鉬片、藍寶石、等各種片狀金屬、其他圓盤類、非金屬零件的平面拋光。第一種拋光工藝就是粗拋，粗拋目的是去除工件的磨光損傷層。第二種就是精拋，主要作用就是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷，使拋光損傷減到最小。